קעגן דעם הינטערגרונט פון די אלץ שטרענגערע "נול-דעפעקט" רעקווייערמענץ אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, זענען די לידזשיע 9-אינטש נידעריק-כלאָר ניטריל הענטשקעס געוואָרן אומפארמיידלעכע שוץ-עקוויפּמענט אין וועיפער פּראַסעסינג און טשיפּ פּאַקקאַגינג סטאַגעס צוליב זייער אויסערגעוויינלעכע נידעריקע יאָנישע רעזידו און הויכע ריינקייט פאָרשטעלונג. דורך ספּעציאַליזירטע פּראַסעסינג, ווערט דער כלאָר אינהאַלט פון די הענטשקעס שטרענג קאָנטראָלירט ביי ≤50 ppm - באַדייטנד איבערשטייגנדיק דעם אינדוסטריע סטאַנדאַרט פון 100 ppm. דאָס פאַרהיט עפעקטיוו קעראָוזשאַן ריסקס געפֿירט דורך כלאָריד יאָן מיגראַציע אויף וועיפער סערפאַסיז, און דערפילט די שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פֿאַר מיקראָסקאָפּישע קאַנטאַמאַניישאַן קאָנטראָל.
בעת ליטאָגראַפֿיע פּראָצעסן, האָט די ריינקייט פֿון הענטשקעס אַ דירעקטן השפּעה אויף דער פּרעציזיע פֿון פֿאָטאָרעזיסט קאָוטינג און די רעזולטאַטן פֿון עקספּאָזיציע. געמאַכט אין קלאַס 100,000 ריינצימערן און אונטערגעוואָרפֿן צו לאַזער שטויב באַזייַטיקונג, ווײַזט דאָס פּראָדוקט אַן עמיסיע פֿון ייבערפֿלאַך פּאַרטיקל אונטער 0.2 פּאַרטיקלען/קוואַדראַט אינטש — וואָס טרעפֿט די ISO קלאַס 3 ריינצימער סטאַנדאַרדן. דאָס פֿאַרהיט עפֿעקטיוו פֿון מיקראָ-פּאַרטיקל אַדכיזשאַן צו וועיפֿער ייבערפֿלאַכן, און דערמיט רעדוצירט ליטאָגראַפֿיע חסרונות. דער 9-אינטש לענג פּלאַן גיט פֿולע קאַווערידזש פֿון האַנטגעלענק ביז האַנטפֿלאַך. צוזאַמען מיט אַן עלאַסטישער מאַנטשעט סטרוקטור, גאַראַנטירט עס אָפּעראַציאָנעלע פֿלעקסיבילאַטי בשעת עס פֿאַרהיט עפֿעקטיוו פֿון שטויב אָפּשעפּונג בײַ דער אַרבל עפֿענונג, און טרעפֿט די שטרענגע רעקווירעמענץ פֿאַר דינאַמישע ריינע סביבות אין ליטאָגראַפֿיע פּראָצעסן.
בעת פּראָצעסן וואָס אַרייַננעמען שטאַרק קעראָוסיוו רעאַגענטן ווי עטשינג און יאָן ימפּלאַנטיישאַן, ווייַזן די הענטשקעס אויסערגעוויינלעך כעמיש קעגנשטעל. נאָך 24-שעה יממערסיאָן טעסטינג אין פּראָסט האַלב-קאָנדוקטאָר רעאַגענטן ווי הידראָפלאָריק זויער און פאָספאָריק זויער, ווייַזן זיי קיין געשוואָלן אָדער קראַקינג, מיט אַ וואָג ענדערונג קורס אונטער 0.8%. דאָס גיט פאַרלאָזלעך האַנט שוץ פֿאַר אָפּעראַטאָרן בשעת ילימאַנייטינג רעאַגענט קאַנטאַמאַניישאַן ריסקס פון הענטשקע שעדיקן. די פינגערשפּיץ האָבן 0.02 מם לאַזער-גראַווירד אַנטי-גליטש טעקסטשערז, ינקריסינג רייַבונג מיט 35% ווען האַנדלינג 12-אינטש וועיפערז און רידוסינג די ריזיקירן פון וועיפער גליטשן מיט 60%. דאָס דערגרייכט אַ וואָג צווישן פּראַטעקטיוו זיכערקייַט און אָפּעראַציאָנעל פעסטקייַט.
איצט סערטיפיצירט צו SEMI F57 סטאַנדאַרדן, ווערן די הענטשקעס דיפּלויד אין מאַסע פּראָדוקציע ליניעס ביי פירנדיקע גיסערייען אַרייַנגערעכנט SMIC און הואַ האָנג סעמיקאַנדאַקטער. זיי רעדוצירן וועיפער אָפּפאַל ראַטעס געפֿירט דורך האַנט קאָנטאַקט מיט 38%, און שטעלן זיך פעסט ווי די ידעאַלע ברירה אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג פֿאַר באַלאַנסינג ריין צימער שוץ מיט אָפּעראַציאָנעל עפעקטיווקייט.
פּאָסט צייט: 11טן נאוועמבער 2025